Analyseurs de gaz pour l'industrie et la recherche

Une gamme complète d'analyseurs de gaz, pour toute application.

• Analyseurs de gaz résiduel, pour caractérisation de vide, détection de fuites, études de dégazage, contrôle de vide, décomposition thermique
• Analyseurs de gaz de procédé , pour mésure et contrôle de composition des gaz de procédé, et pour détection des contaminations. Le contrôle et la régulation de composition des gaz jusqu'à 1mBar trouve applications dans les domaines de CVD , PECVD , RIE , LPCVD , MOCVD, métallisation par pulvérisation , gravure à plasma, pulvérisation magnétron réactive.
• Analyseurs à pression atmosphérique, pour contrôle en temps-réel de composition des gaz sous pression ambiante. Détection de point final des réactions chimique, analyse thermique, analyse des gaz émis, dépôt en phase vapeur (CVD), surveillance de l'environnement, caractérisation des piles à combustible.
• Analyseur des gaz dissous, pour mésures des gas en milieux liquides.
• Options pour analyse jusqu'à 30 Atmosphères (30 Bar), systèmes d'échantillonage à multiples voies.
• Options pour les systèmes thermogravimétriques permettent de réaliser l'analyse des gaz émis (TG-MS, TGA-MS) avec les instruments existants.
• Systèmes intégrés pour les applications specialisées : par exemple; bancs d'essai de perméation à multiples cellules, moniteur de flux pour EJM, analyseurs de désorption analysers, SIMS workbench pour analyse des surfaces, spectromètres LoMASS détection des isotopes d'hydrogène.